.jpg)
Academia Română a fost creată în 1866 pentru a cristaliza cele mai înalte valori intelectuale din provinciile românești într-o societate erudită menită să consolideze identitatea națională pe baza a patru componente esențiale: limbă și literatură, istorie, etnografie și cultură. La...
IMT-MINAFAB: centrul suport pentru MIcro şi NAnoFABricaţie din IMT
Perspectiva apropiată a colaborării într-un proiect de „infrastructuri de cercetare” din programul de „Capacităţi” al PC7 a determinat INCD-Microtehnologie (IMT-Bucureşti) să accelereze crearea „Centrului de suport pentru Micro şi Nanofabricaţie” (IMT-MINAFAB). Acesta este menit să asigure accesul beneficiarilor în general şi al IMM-urilor inovative în special la serviciile şi dotările de care dispune institutul. IMT-MINAFAB este o entitate a IMT care urmează să administreze serviciile oferite de către diversele „laboratoare experimentale” (entităţi fizice) care sunt distribuite în diverse departamente şi laboratoare de cercetare din institut.
Standarde înalte pentru performanţe pe măsură
În micro şi nanofabricaţie există o „distanţă” foarte mică între realizarea fizică a structurii ca model de laborator, pe de o parte, şi microproducţie, pe de altă parte. IMT poate asigura o gamă largă de servicii, care permit acoperirea unui ciclu complet de fabricaţie a unui produs, plecând de la proiectarea
asistată de calculator, la realizarea „măştilor” de fabricaţie, la caracterizarea materialelor şi proceselor tehnologice, în fine la testare şi probe de fiabilitate. Multe dintre echipamentele specifice trebuie să lucreze în condiţii de curăţenie deosebite, în aşa-numitele „camere albe”. Gradul de curăţenie este descris de numărul de particule de praf în unitatea de volum, de exemplu clasa de curăţenie 1000 înseamnă sub 1000 de particule de praf într-un „picior” cubic. Noţiunea de cameră curată a început să se răspândească în diverse domenii, stârnind confuzie. Este interesant, de exemplu, să subliniem că într-o cameră albă pentru „microfabricaţie” curăţenia trebuie să fie de 1000 ori mai bună decât într-o sală de operaţii (chirurgie). Camerele curate din IMT sunt din clasa 100/1000.
Tehnologii şi echipamente de ultimă oră
Un echipament de ultimă generaţie (generatorul de măşti) apare în Fig. 1.
El foloseşte o „scriere” directă cu laser pentru realizarea unor linii mai subţiri de 1 micrometru (s-a obţinut o lăţime minimă de un sfert de micrometru). Pe de altă parte, prin litografie directă cu fascicul de electroni s-au realizat linii de numai 30 nanometri lăţime, iar o staţie de lucru pentru nanoinginerie (aliniere/expunere, nanoimprimare), în curs de instalare, va realiza detalii de ordinul nanometrilor.
Procesele tehnologice propriu-zise sunt realizate şi ele cu echipamente de nivel mondial. Este vorba de corodare în plasmă cu ioni reactivi (RIE), de un sistem de depunere straturi subţiri prin pulverizare şi prin evaporare termică în vid cu fascicul de electroni (4 + 2 straturi depuse în acelaşi ciclu de vid), de echipamente de depunere chimică în stare de vapori la presiune joasă în variantele LPCVD, APCVD, PECVD. Fig. 2 arată un echipament de dublă aliniere (faţă/spate) a plachetei, cu precizie de 2 microni. În curând va fi disponibil un echipament dublu faţă expunere/aliniere nanoimprimare pentru plachete de 4”-6”, rezoluţie 0,4 microni.
Caracterizarea nu a fost nici ea neglijată. Actualul SEM va fi dublat în curând de un echipament cu emisie în câmp (FEG-SEM), cu rezoluţie de 1nm. Mai amintim laboratorul de Scanning Probe Microscopy (STM, AFM etc.), spectrometrul Raman, elipsometrul spectral în UV/VIS (240-750 nm); microscop cu baleiaj în câmp optic apropiat (SNOM); interferometru cu lumină albă WLI. „NanoBioLab” (o cameră albă pentru aplicaţiile biomedicale) dispune deja de Nano-Plotter pentru biomateriale (ADN, proteine etc.); scanner pentru microarray şi se achiziţionează Bio-SECM (Scanning Electrochemical Microscope), spectrofotometru cu fluorescenţă, spectrometru electrochimic de impedanţă.
Servicii compatibile cu piaţa internaţională
Dintre serviciile oferite în prezent (inclusiv prin contracte CD) menţionăm: micro şi nano structurare incluzând şi execuţie de măşti, procesare şi caracterizare polimeri, nanolitografie pentru dispozitive fotonice şi RF, proiectare şi simulare asistată de calculator pentru microfotonică, microsisteme fotonice sau RF, dispozitive tip “laborator pe un cip”, biochipuri, microarrays, componente pentru microfluidică, caracterizare electrică şi electrochimică a interfeţelor dintre materialul biologic şi siliciu, arii de nanoelectrozi în sisteme microfluidice pentru investigare celulară, imobilizarea proteinelor/ADN-ului pe nanostructuri de siliciu, tehnologia „microarrays”.
Acad. Dan Dascalu
Director general al
INCD-Microtehnologie 
Fig. 1 
Fig. 2
Parerea ta conteaza: 
UE accelerează inovarea. Ce face România?
