Revista >> Februarie 2009 [Nr. 112] >> Cercetare

Cercetări în domenii tehnologice de vârf, cu o bază materială de excepţie

Acad. Dan Dascalu

26 Februarie 2009

După aproape 20 de ani în care industria de semiconductori şi cea microelectronică au fost sistematic distruse de indiferenţă şi incompetenţă (mai activează numai câteva întreprinderi mici, tip SRL), INCD-Microtehnologie (IMT – Bucureşti) a reuşit să asigure “un nou start” pe (fosta) platformă industrială Băneasa. Într-adevăr, IMT (creat în 1993) a reuşit:
- Abordarea unei tematici avansate bazate pe micro- şi nanotehnologii (urmând evoluţia pe plan mondial din semiconductori şi micro- nanoelectronică);
- Regruparea unor specialişti din industrie şi cercetare, atragerea unor tineri capabili şi a unor specialişti cu experienţa activităţii în străinătate;
- Dotarea recentă cu echipamente de ultimă generaţie şi crearea unei facilităţi de micro- şi nanofabricaţie, unică în ţară (în noile state membre ale UE nu mai există ceva similar decât în Polonia);
- Participare la proiecte europene, din programe europene diverse (implicare în circa 15 proiecte din PC6 şi corelate, în alte 10 proiecte de la lansarea PC7).

Participarea intensă la proiectele europene demonstrează nivelul cercetării (corelate cu tematica europeană) şi credibilitatea de care se bucură institutul. O parte din tematică este corelată cu tehnologia informaţiei şi a comunicaţiilor.

În domeniile de vârf RF MEMS (microsisteme de radiofrecvenţă) şi fotonică, în IMT funcţionează Centrul de excelenţă MIMOMEMS, finanţat (2008-2011) din REGPOT (PC7) – primul centru de excelenţă din România finanţat din fonduri europene, după aderarea ţării la UE. MIMOMEMS are ca parteneri şi firme europene performante, intrând recent şi în două proiecte ale platformei tehnologice europene de nanoelectronică. Titlurile acestora sunt mai mult decât semnificative: „Nanoelectronics for Safe, Fuel Efficient and Environment Friendly Automotive Solution” – SE2A; Coord: NXP Semiconductor Netherlands BV, The Netherlands; „Micro and Nano Technologies based on wide band gap materials for future transmitting receiving and sensing systems” – NEPTUNE, Coord: Thales Research and Technology, France.

Cum s-a ajuns aici? Astfel de performanţe se bazează pe o activitate de durată, pe competenţa şi curajul cercetătorilor de a aborda cercetări avansate, la început – chiar şi cu o bază materială precară. Astfel, colectivul dr. Al. Muller (RF MEMS) a avut încă din 1997 o prioritate europeană în domeniul circuitelor pasive de microunde realizate pe membrane subţiri, utilizate în domeniul comunicaţiilor.

Pe această bază, IMT a câştigat în calitate de coordonator unul din primele proiecte în domeniul de avangardă RF – MEMS (microsisteme electro-mecanice pentru radiofrecventa). Este vorba de proiectul MEMSWAVE (1998-2001) - “Micromachined circuits for microwave and millimeter wave applications”. În cadrul acestui proiect european a fost obţinut în 2001 primul receptor microprelucrat integrat monolitic pentru 38 GHz (IMT-Bucuresti şi FORTH Heraklion), o prioritate mondială.
În cadrul reţelei de excelenţă AMICOM din PC6, acelaşi colectiv a obţinut un succes deosebit şi anume realizarea, pentru prima dată în lume, a unor receptoare pentru unde milimetrice utilizabile ca “tag” (etichetă) în sistemele de identificare în unde milimetrice. S-a demonstrat pentru prima dată conceptul de “sistem de identificare în unde milimetrice-MMID” (foto)

În cadrul acestor activităţi de cercetare aplicativă avansată au fost publicate peste 20 de lucrări ISI. Dacă la început cercetătorii din IMT aveau iniţiativă prin partea de concepţie şi trebuiau să realizeze partea experimentală şi să facă măsurătorile în exterior, în prezent situaţia s-a schimbat radical. Centrul MIMOMES a achiziţionat deja un sistem care va permite testarea structurilor experimentale până la frecvenţe de 110 GHz, permiţând utilizarea unor benzi de frecvenţă şi mai înaltă şi abordarea a noi aplicaţii. Capabilităţile tehnologice au crescut şi ele foarte mult, iar din septembrie 2008 în IMT funcţionează o nouă “cameră albă”, clasa 1000.

Dotările experimentale ale IMT au progresat într-un ritm impresionant. În ultimul an furnizorii de echipamente de vârf din Europa, SUA şi Japonia şi-au lansat noile modele în IMT-Bucureşti, pentru prima oară într-o întreagă regiune geografică.
Astfel, în prezent, în zona tehnologică a IMT sunt instalate şi oferă servicii – printre altele - următoarele echipamente (foto): Nanoengineering Work Station e_Line, (RAITH, Germania), Dip - pen nanolitohraphy (Nanoink, S.U.A.), SmartLab XRD (X-ray diffractometer) – (Rigaku, Japonia).

SmartLab XRD X-ray
diffractometer (stânga);
Nanoengineering Work Station e_Line (dreapta, sus);
Dip - pen nanolitohraphy
(dreapta, jos)

Proiectele europene ale IMT nu vizează însă numai tehnologia informaţiei. Un exemplu este proiectul integrat din PC7: FlexPAET „Flexible Patterning of Complex Micro Structures using Adaptive Embossing Technolog” (IMT – partener).
Consorţiul cercetează optimizarea eficienţei în sistemele de iluminare de arie mare prin utilizarea microtehnologiilor şi este un exemplu de aplicare a noilor tehnologii în industriile tradiţionale.